单片式清洗设备（卧式）

从清洗到干燥整个工序可以对应。最大处理尺寸为12英寸。
该型号适用于实验型或者研究开发用途用。

这种水平式清洗设备的磨砂工艺仅在表面（单侧）上是正常规格，但也可以通过增加机械臂机构将要清洗的晶圆翻转进行双面磨砂，并通过夹住磨砂刷进行双面磨砂。

还有一种将水平旋转清洁和垂直双面擦洗相结合的清洗设备，适用于在狭小的空间内也能提高清洁度。

纯水+表面活性剂简易化学清洗、SC1清洗、SC2清洗等喷嘴定制开发各种清洗方式也是可能的。